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【应用案例】黄铜透射电镜制样新利器：鼎竑GU-AI9000离子减薄仪，损伤小，薄区佳！
发布时间：
2025-06-23
1.前言
黄铜是一种典型的金属材料，在电子、新能源等领域发挥着重要的作用。为了研究黄铜内部构造、晶相结构以及外部机械作用对它内部构造的影响，需要使用透射电镜观察。上透射电镜拍摄的样品薄片的厚度不能超过200纳米，因此在上透射电镜前要进行前处理。目前关于黄铜的透射电镜制样的方法有电解双喷法、fib、离子减薄法等，离子减薄法通过氩离子束对样品进行双面减薄，对样品更加温和，因此离子减薄法在处理黄铜样品时更具优势。
黄铜片（图源网络）
本文使用了鼎竑离子减薄仪GU-AI9000对黄铜片进行了减薄，鼎竑离子减薄仪GU-AI9000如图1，
图1 鼎竑离子减薄仪GU-AI9000
2.仪器减薄参数
电压：6kv→4kv
电流：0.4mA
减薄时间：1.5h→1h
设定灰度值：235
破孔值：6
样品与离子枪角度：10°
3. 样品前处理
将直径约10mm，厚度约2mm的黄铜片使用精研一体机冲钻出深度500微米直径3mm的圆坑，后使用不同的砂纸和抛光布进行机械研磨抛光，使其减薄至20微米，变为直径3mm，厚度20微米的薄片。
4. 结果与讨论
（1）减薄后黄铜片图
黄铜片经过减薄后如图2，
图2 减薄后黄铜片图
经过观察，黄铜片破孔明显，穿孔区域如图中红色圆圈标注，理论上穿孔区域周围存在小于200纳米的薄区可以被透射电镜电子束穿透观察。
（2）减薄后黄铜片高倍电镜图
减薄后的黄铜片高倍透射电镜图如图3，
图3 黄铜片高倍透射电镜图
图片可以清晰观察黄铜片的晶格条纹；同时可以观察到其内部的结构构造。可以说明黄铜片减薄成功。
5. 结论
本文利用鼎竑离子减薄仪GU-AI9000对黄铜进行了减薄。该仪器方法参数良好，可以高质量完成对黄铜的减薄，损伤很小，使其拥有足够的薄区上透射电镜拍摄，因此本方法是一个对样品温和的方法，满足对常规黄铜减薄的要求。同时稍改良该方法参数也可对其他不同种类金属样品进行减薄。
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