GU-AI 8000 离子研磨仪
GU-AI系列离子加工仪器具有独特的无磁聚集离子束设计,实现高效的大面积样品加工,并可将样品表面的损伤层或变形层降至低,获得样品内部真实的结构信息。 GU-AI8000是可获得高质量平整面的离子研磨仪。无论是截面样品制备,亦或是大面积平面抛光,GU-AI8000均可以提供有效的解决方案,其可制备多种材料类型样品,包括金属样品、多孔样品、脆性样品、复合材料样品.…适用于电子电器行业、新能源行业、汽车行业、地质行业等。
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产品特点及参数:
- 卓越的仪器性能:独特的高强度无磁聚集离子束、高性能的双置内泵和快速降温半导体制冷使仪器性能大幅度提升;
- 出色的操作简便性:所有参数都可通过全中文显示屏直接设置;可个性化设置的参数库;多端操控、远程控制;
- 优越的扩展性:丰富的样品夹具、光学系统使仪器充分满足各种要求。
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参数特点 |
截面切割 |
平面抛光 |
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离子源 |
双离子源,安装角度90°、180°,可选配三把离子枪 |
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离子束能量 |
0-10KeV |
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离子枪与样品加工面夹角 |
0-180° |
3°、6°或9° |
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加工速率 |
≤300μm/h,Si |
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可容样品尺寸 |
≤25X12X5.5mm |
≤25X25X20mm |
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挡板材质 |
钼或钛 |
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真空泵 |
隔膜泵+涡轮分子泵(无需冷却水) |
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抽气速率 |
大气到工作状态不高于3min |
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制冷 |
半导体制冷-25℃ |
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工作气体 |
氩、氦、氧、氙 |
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保护功能 |
过流、真空双保护 |
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控制系统 |
基于开源操作系统自主开发,具有完全知识产权 |
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关键词:
电镜制样
GU-AI 8000
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离子束研磨仪
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