GU-AI9000 离子束减薄仪
GU-AI系列离子加工仪器具有独特的无磁聚集离子束设计，实现高效的大面积样品加工，并可将样品表面的损伤层或变形层降至低，获得样品内部真实的结构信息。 GU-AI9000是可获得纳米级别薄片的离子减薄仪，是透射电镜样品制备流程中不可或缺的微纳加工仪器，可将大部分金属、陶瓷、涂镀层等材料加工成厚度小于200m的薄片。
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详情介绍
产品特点及参数：
- 卓越的仪器性能：独特的高强度无磁聚集离子束、高性能的双置内泵和快速降温半导体制冷使仪器性能大幅度提升；
- 出色的操作简便性：所有参数都可通过全中文显示屏直接设置；可个性化设置的参数库；多端操控、远程控制；减薄完成自动停止；
- 优越的扩展性：丰富的样品夹具、光学系统使仪器充分满足各种要求。
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参数特点 |
截面切割 |
平面抛光 |
离子减薄 |
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离子源 |
双离子源，安装角度90°、180°可选 |
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离子束能量 |
0-10KeV |
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离子枪与样品加工面夹角 |
0-180° |
3°、6°或9° |
0-90° |
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加工速率 |
≤300μm/h，Si |
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30μm/h，Cu |
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可容样品尺寸 |
≤25X12X30mm |
≤25X25X30mm |
Φ3mm |
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挡板材质 |
钼或钛 |
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真空泵 |
隔膜泵+涡轮分子泵（无需冷却水） |
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抽气速率 |
大气到工作状态不高于3min |
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制冷 |
半导体制冷-30℃ |
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工作气体 |
氩、氦、氧、氙 |
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保护功能 |
过流、真空双保护 |
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控制系统 |
基于开源操作系统自主开发，具有完全知识产权 |
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关键词：
gu-ai9000
制冷
样品
仪器
加工
离子
离子束
减薄
离子减薄仪
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